Chemisch-mechanische Polierträgervorrichtung mit einem schwimmenden Halterring und einer Trägerplatte mit mehrzonaler Rucksteuervorrichtung

EP1371449 Art A3 21. April 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION, MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1371449
Aktenzeichen: EP03020525
Anmeldetag: 24. Februar 2000
Veröffentlichung: 21. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24B41/06B24B53/007B24B49/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: EBARA CORPORATION
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

1.978 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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