Transistoren und Speicherkondensatoren enthaltend eine HfO2-Zusammensetzung mit erhöhter Dielektrizitätskonstante

EP1372160 Art B1 28. Mai 2008

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC), Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1372160
Aktenzeichen
EP03447146
Anmeldetag
10. Juni 2003
Veröffentlichung
28. Mai 2008
Erteilung
28. Mai 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01B3/10H01L29/04C01G27/02C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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