Metalloamid- und Aminosilanvorstufen für die Herstellung Dünner Dielektrischer Filme durch Chemische Abscheidung aus der Gasphase
EP1373278
Art A1
2. Januar 2004
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1373278
- Aktenzeichen
- EP02728580
- Anmeldetag
- 27. März 2002
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3205C07F7/00C07F7/02C07F7/10C07F7/28C23C8/00H01L21/4763H01L21/31H01L21/469
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Kanzlei
Kanzlei Huber & Schüssler
München, Deutschland
1996 von Dr. Bernard Huber und Dr. Andrea Schüssler gegründete Patentanwaltskanzlei mit Sitz in München, berät umfassend zu Patenten, Marken, Designschutz und Urheberrecht.
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