Verfahren zur Messung von Merkmalen mit einem Asymmetrischen Profil

EP1373828 Art B1 10. März 2010

Anmelder: Globalfoundries Inc., GlobalFoundries, Inc., ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇰🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1373828
Aktenzeichen
EP01995896
Anmeldetag
13. November 2001
Veröffentlichung
10. März 2010
Erteilung
10. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/30G01B11/24G01B11/26H01L21/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Globalfoundries Inc.
GlobalFoundries, Inc.
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇰🇾 KY
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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