Verfahren zur Ätzung einer Organischen Antireflektionsschicht
EP1374288
Art A2
2. Januar 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1374288
- Aktenzeichen
- EP02717545
- Anmeldetag
- 21. März 2002
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/768B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kemp, Paul Geoffrey
Nice, Frankreich
168
Patente gesamt
30
Fachgebiete
11
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Weitere Vertreter
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Brookes Batchellor LLP · London