Struktur und Methode zur Bestimmung von Kanten von Regionen in Halbleiterscheiben

EP1374299 Art A2 2. Januar 2004

Anmelder: Infineon Technologies AG, Infineon Technologies North America Corp. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1374299
Aktenzeichen
EP02717776
Anmeldetag
5. April 2002
Veröffentlichung
2. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Infineon Technologies AG
Infineon Technologies North America Corp.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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