Nanofabrikation

EP1374310 Art A2 2. Januar 2004

Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1374310
Aktenzeichen
EP02725158
Anmeldetag
14. März 2002
Veröffentlichung
2. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/15H01L35/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
University of Massachusetts
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Massachusetts

Staatliches Universitätssystem im US-Bundesstaat Massachusetts mit mehreren Standorten, unter anderem Amherst, Boston und Worcester, aktiv in Forschung und Lehre über zahlreiche Fachrichtungen.

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