Optisches Abtastgerät mit kompakter f-theta Linse zur effektiven Korrektur chromatischer Aberration
EP1376196
Art B1
9. November 2005
Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1376196
- Aktenzeichen
- EP03013866
- Anmeldetag
- 18. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 9. November 2005
- Erteilung
- 9. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B26/10G02B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Dainippon Screen Mfg
Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.
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Kilian, Helmut
München, Deutschland
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