Gasphasen-Aufwachseinrichtung

EP1376665 Art B1 14. November 2007

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1376665
Aktenzeichen
EP02705172
Anmeldetag
14. März 2002
Veröffentlichung
14. November 2007
Erteilung
14. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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