Verfahren zur Verbesserten Planarisierung-Nach-Cmp-Verarbeitung

EP1378005 Art A2 7. Januar 2004

Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1378005
Aktenzeichen
EP02703086
Anmeldetag
8. Januar 2002
Veröffentlichung
7. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/302H01L21/461
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Honeywell International Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Honeywell

US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.

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