Verfahren zur Herstellung von einer Oxydschicht auf einer Siliziumkarbidschicht mittels Temperung in einer Wasserstoff Umgebung

EP1378006 Art B1 3. September 2008

Anmelder: Cree, Inc., CREE, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1378006
Aktenzeichen
EP02733980
Anmeldetag
12. April 2002
Veröffentlichung
3. September 2008
Erteilung
3. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cree, Inc.
CREE, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cree

US-amerikanischer Halbleiterhersteller, bekannt für LED- und Leistungshalbleitertechnik auf Siliziumkarbid-Basis. Das Unternehmen benannte sich 2021 in Wolfspeed um.

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