Injektionskeim-F2-Laser mit Wellenlängensteuerung
EP1378038
Art A1
7. Januar 2004
Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1378038
- Aktenzeichen
- EP02763871
- Anmeldetag
- 29. März 2002
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/225H01S3/10H01S3/097
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cymer, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
399 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Grünecker, August, Dipl.-Ing
München, Deutschland
229
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
NoneMünchen
-
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München