Deformierbarer Spiegel mit passiven und aktiven Aktuatoren

EP1378782 Art A3 26. Januar 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1378782
Aktenzeichen
EP03014937
Anmeldetag
1. Juli 2003
Veröffentlichung
26. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08G02B7/185
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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