Zusammensetzung zur Bildung eines Antireflexfilms für die Lithographie

EP1378796 Art A1 7. Januar 2004

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1378796
Aktenzeichen: EP02717099
Anmeldetag: 10. April 2002
Veröffentlichung: 7. Januar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11H01L21/027C09D201/02C09D5/00C09D179/04H01L21/302G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von