Ätzpaste für Halbleiter und deren Verwendung zum lokalisierten Ätzen von Halbleitersubstraten
EP1378948
Art A1
7. Januar 2004
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1378948
- Aktenzeichen
- EP03447176
- Anmeldetag
- 1. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/18H01L31/068H01L21/306H01L21/308
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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