Verfahren und Vorrichtung zur Endpunktauslösung mit Integrierter Lenkung
EP1379356
Art A1
14. Januar 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1379356
- Aktenzeichen
- EP02733917
- Anmeldetag
- 27. März 2002
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/12B24B21/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte