Verfahren und Vorrichtung zur Schwingungskontrolle

EP1380000 Art A2 14. Januar 2004

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1380000
Aktenzeichen: EP02753853
Anmeldetag: 25. März 2002
Veröffentlichung: 14. Januar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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