Wärmereflektierendes Material und das Material Verwendende Heizvorrichtung

EP1380412 Art A1 14. Januar 2004

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1380412
Aktenzeichen
EP02711251
Anmeldetag
31. Januar 2002
Veröffentlichung
14. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00B32B7/02B32B9/00F24C15/22H01L21/31H01L21/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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