Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung einer Mikrokristallinen Siliciumschicht auf einem Substrat
Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1381710
- Aktenzeichen
- EP02722981
- Anmeldetag
- 12. April 2002
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2009
- Erteilung
- 7. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/513C23C16/24C30B25/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.
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Fachgebiete
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