Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung einer Mikrokristallinen Siliciumschicht auf einem Substrat

EP1381710 Art B1 7. Januar 2009

Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1381710
Aktenzeichen
EP02722981
Anmeldetag
12. April 2002
Veröffentlichung
7. Januar 2009
Erteilung
7. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/513C23C16/24C30B25/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Eindhoven

Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.

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