Gerät und Verfahren um die Leistung von Mikromaschinen oder Mikroelektromechanischen Bauelementen zu bestimmen
EP1382977
Art A1
21. Januar 2004
Anmelder: IMEC vzw, Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw, KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1382977
- Aktenzeichen
- EP02447137
- Anmeldetag
- 19. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/327
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC vzw, Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw
KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Katholieke Universiteit Leuven
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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