Elektronenstrahlbelichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
EP1383157
Art A3
23. November 2005
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1383157
- Aktenzeichen
- EP03254452
- Anmeldetag
- 15. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 23. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/30H01J37/317H01L21/00H01J37/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
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