FinFET - Anordnung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung

EP1383164 Art A1 21. Januar 2004

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1383164
Aktenzeichen
EP02447135
Anmeldetag
17. Juli 2002
Veröffentlichung
21. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336H01L29/423H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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