Keramische Scheibe für ein Halbleitererzeugungs/inspektionsgerät
EP1383167
Art A1
21. Januar 2004
Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1383167
- Aktenzeichen
- EP01922016
- Anmeldetag
- 23. April 2001
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/66H05B3/10H05B3/16H05B3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IBIDEN CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ibiden
Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.
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Vertreten von
Gillard, Marie-Louise
Paris, Frankreich
139
Patente gesamt
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Fachgebiete
10
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