Verwendung von Perfluorketonen als Reinigungs-, Ätz- und Dotierungsgase für Gasphasenreaktoren

EP1383939 Art B1 23. November 2005

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1383939
Aktenzeichen: EP02717614
Anmeldetag: 14. März 2002
Veröffentlichung: 23. November 2005
Erteilung: 23. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44H01L21/311C23F4/00H01L21/316C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von