Verfahren zur Behandlung der Oberfläche eines Halbleitermaterials

EP1383944 Art A1 28. Januar 2004

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, Commissariat A L'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1383944
Aktenzeichen
EP02730364
Anmeldetag
17. April 2002
Veröffentlichung
28. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/36C30B33/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Commissariat A L'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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