Mikro-Dünnfilm-Sensor-Arrays zum Nachweis von H 2, Nh 3 und Schwefelhaltigen Gasen, sowie Herstellungs- und Anwendungsverfahren

EP1384059 Art A2 28. Januar 2004

Anmelder: MST Technology GmbH, ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1384059
Aktenzeichen
EP02731257
Anmeldetag
5. April 2002
Veröffentlichung
28. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01N7/00G01N33/00G01N27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MST Technology GmbH
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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