Mikro-Dünnfilm-Sensor-Arrays zum Nachweis von H 2, Nh 3 und Schwefelhaltigen Gasen, sowie Herstellungs- und Anwendungsverfahren
EP1384059
Art A2
28. Januar 2004
Anmelder: MST Technology GmbH, ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1384059
- Aktenzeichen
- EP02731257
- Anmeldetag
- 5. April 2002
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N7/00G01N33/00G01N27/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MST Technology GmbH
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Böhm, Brigitte
München, Deutschland
560
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Fachgebiete
16
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Harrison, Robert J., Ph. D
NoneMünchen