Mikro-Dünnfilm-Sensor-Arrays zum Nachweis von H 2, Nh 3 und Schwefelhaltigen Gasen, sowie Herstellungs- und Anwendungsverfahren

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP1384059

Aktenzeichen

EP02731257

Anmeldetag

5. April 2002

Veröffentlichung

28. Januar 2004

Rechtsraum

EP

IPC

G01N7/00G01N33/00G01N27/12

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen

MST Technology GmbH
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete