Herstellungsverfahren für eine den Extremen Ultraviolettbereich (euv) Dämpfende Phasenverschiebungsmaske

EP1384115 Art A2 28. Januar 2004

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1384115
Aktenzeichen
EP01991624
Anmeldetag
23. Oktober 2001
Veröffentlichung
28. Januar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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