Verfahren und Vorrichtung zur Epitaktischen Sputterabscheidung von Magnetischen Epischichten aus mehreren Verbindungen mit Hoher Abscheidungsrate

EP1386019 Art A1 4. Februar 2004

Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY, E.I.Du Pont de Nemours and Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1386019
Aktenzeichen
EP02721741
Anmeldetag
11. April 2002
Veröffentlichung
4. Februar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
E. I. du Pont de Nemours and Company
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
E.I.Du Pont de Nemours and Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 DuPont

US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.

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