Ionenstrahlablagerungsprozess zur Herstellung Binärer Photomaskenrohlinge
EP1386198
Art A2
4. Februar 2004
Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, Carcia, Peter Francis, Dieu, Laurent, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY, E.I. du Pont de Nemours and Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1386198
- Aktenzeichen
- EP02721791
- Anmeldetag
- 19. April 2002
- Veröffentlichung
- 4. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/08C03C17/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- E. I. du Pont de Nemours and Company
Carcia, Peter Francis
Dieu, Laurent
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
E.I. du Pont de Nemours and Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
DuPont
US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.
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Vertreten von
Cockerton, Bruce Roger
London, Großbritannien
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