Verfahren zum Nassätzen eines Silizium- und Stickstoffenthaltendes Material

EP1386351 Art A1 4. Februar 2004

Anmelder: NXP B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1386351
Aktenzeichen
EP02724539
Anmeldetag
18. April 2002
Veröffentlichung
4. Februar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311C09K13/04H01L21/027G03F7/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NXP B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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