Verbesserter Lüfter für einen Gasentladungslaser

EP1386378 Art A1 4. Februar 2004

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1386378
Aktenzeichen: EP02769663
Anmeldetag: 18. April 2002
Veröffentlichung: 4. Februar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/22H01S3/036F04D29/28F04D29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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