Gerät zur Herstellung von Dünnschichten
EP1386981
Art B1
4. Juni 2014
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1386981
- Aktenzeichen
- EP03405487
- Anmeldetag
- 1. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2014
- Erteilung
- 4. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455C30B25/02C30B25/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Störzbach, Michael Andreas
Bern, Schweiz
51
Patente gesamt
26
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte