Methode zur Erzeugung einer Struktur mittels eines lithographisch hergestellten Musters
EP1387216
Art B1
9. Mai 2007
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1387216
- Aktenzeichen
- EP03016539
- Anmeldetag
- 23. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 9. Mai 2007
- Erteilung
- 9. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B29C43/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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