Elektrodenanordnung für die Magnetfeldgeführte Plasmagestützte Abscheidung Dünner Schichten im Vakuum

EP1387897 Art B1 16. August 2006

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1387897
Aktenzeichen: EP02740294
Anmeldetag: 26. April 2002
Veröffentlichung: 16. August 2006
Erteilung: 16. August 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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