Photoresistzusammensetzung für die Lithographie im Fernen Uv-Gebiet

EP1388027 Art A1 11. Februar 2004

Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1388027
Aktenzeichen
EP02737995
Anmeldetag
25. April 2002
Veröffentlichung
11. Februar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
AZ Electronic Materials USA Corp.
CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
Land
🇺🇸 USA
🇨🇭 Clariant

Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.

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