Verfahren zur Reinigung einer Substratfläche

EP1389496 Art A1 18. Februar 2004

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation, MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1389496
Aktenzeichen: EP02726443
Anmeldetag: 20. Mai 2002
Veröffentlichung: 18. Februar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: B08B3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Chemical Corporation
MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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