Verfahren zur Beseitigung von Rückständen von einem Schichtstapel unter Verwendung einer Opferschicht
EP1389800
Art A2
18. Februar 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1389800
- Aktenzeichen
- EP03018330
- Anmeldetag
- 12. August 2003
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
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