Interferrometrische Bestimmung der Dreidimensionalen Brechungsindexverteilung
EP1390722
Art A1
25. Februar 2004
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1390722
- Aktenzeichen
- EP02734223
- Anmeldetag
- 7. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/02G01B9/02G01M11/00G01M11/02G01N21/41G01N21/45G01J9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML US, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München