Keramisches Heizelement für eine Halbleiterherstellungs-/-Untersuchungsvorrichtung
EP1391919
Art A1
25. Februar 2004
Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1391919
- Aktenzeichen
- EP02718530
- Anmeldetag
- 11. April 2002
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IBIDEN CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ibiden
Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.
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Fachgebiete
Kanzlei
Boeters & Lieck
München, Deutschland
Boeters & Lieck ist eine Kanzlei aus Patentanwälten und Rechtsanwälten mit Sitz in München. Sie ist als European Patent and Trademark Attorneys tätig und bei der Patentanwaltskammer sowie dem Institut der beim Europäischen Patentamt zugelassenen Vertreter (epi) registriert.
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