Verfahren zur Herstellung einer aktiven Matrix und Maske für solche Herstellung

EP1391920 Art B1 21. August 2013

Anmelder: Thales 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1391920
Aktenzeichen
EP03102130
Anmeldetag
11. Juli 2003
Veröffentlichung
21. August 2013
Erteilung
21. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F7/20H01L21/027H01L21/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Thales
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Thales

Französischer Technologiekonzern mit Sitz in Paris, aktiv in Luft- und Raumfahrt, Verteidigungstechnik, Sicherheitstechnologie sowie Bahn- und Kommunikationssystemen für zivile und militärische Anwendungen.

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