Übertakten bei einem Mikroabscheidungssteuersystem zur Verbesserung der Auflösung
EP1392449
Art B1
24. Februar 2010
Anmelder: ULVAC, INC., Litrex Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1392449
- Aktenzeichen
- EP02739640
- Anmeldetag
- 31. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2010
- Erteilung
- 24. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05C11/10B41J2/05B41J2/045B41J3/54B41J3/407H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ULVAC, INC.
Litrex Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Somnier, Jean-Louis
Levallois-Perret, Frankreich
102
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28
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7
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