Fluorpolymer-Strömungsmesser

EP1393021 Art A2 3. März 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1393021
Aktenzeichen
EP02761003
Anmeldetag
28. Mai 2002
Veröffentlichung
3. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01F1/00B29C65/12B29C65/70
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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