Belichtungskontrolle für Phasenschiebermasken
EP1393132
Art B1
25. April 2012
Anmelder: Synopsys, Inc., Synopsys Merger Holdings LLC, Numerical Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1393132
- Aktenzeichen
- EP02778961
- Anmeldetag
- 7. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 25. April 2012
- Erteilung
- 25. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/30G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Synopsys, Inc.
Synopsys Merger Holdings LLC
Numerical Technologies Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Davies, Simon Robert
London, Großbritannien
1.092
Patente gesamt
27
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Haines, Miles John L.S
NoneMünchen
-
Haines, Miles John
NoneLondon