Belichtungskontrolle für Phasenschiebermasken

EP1393132 Art B1 25. April 2012

Anmelder: Synopsys, Inc., Synopsys Merger Holdings LLC, Numerical Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1393132
Aktenzeichen
EP02778961
Anmeldetag
7. Juni 2002
Veröffentlichung
25. April 2012
Erteilung
25. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/30G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Synopsys, Inc.
Synopsys Merger Holdings LLC
Numerical Technologies Inc.
Land
🇺🇸 USA

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