Quarzglaselement und Projektionsausrichtgerät

EP1394127 Art A1 3. März 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1394127
Aktenzeichen: EP02720535
Anmeldetag: 19. April 2002
Veröffentlichung: 3. März 2004
Rechtsraum: EP
IPC: C03C3/06G02B1/00H01L21/027C03B19/14C03C4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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