Verfahren und Vorrichtung zur grossflächigen Beschichtung von Substraten bei Atmosphärendruckbedingungen

EP1394283 Art B1 1. Juli 2009

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1394283
Aktenzeichen
EP03018084
Anmeldetag
8. August 2003
Veröffentlichung
1. Juli 2009
Erteilung
1. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C4/12C23C16/513C23C16/455C23C16/453
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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