Vorbehandlung von organischer Schicht für Abscheidung von Atomschichten
EP1394286
Art A1
3. März 2004
Anmelder: IMEC, Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1394286
- Aktenzeichen
- EP03447211
- Anmeldetag
- 18. August 2003
- Veröffentlichung
- 3. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/455H01L21/28H01L21/3205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
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