Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung von Aussenlufteindringung durch Leckagen in einem Plasmareaktor

EP1394835 Art A1 3. März 2004

Anmelder: STMicroelectronics S.r.l., STMicroelectronics Srl 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1394835
Aktenzeichen
EP02425536
Anmeldetag
29. August 2002
Veröffentlichung
3. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
STMicroelectronics S.r.l.
STMicroelectronics Srl
Land
🇮🇹 Italien
🇮🇹 STMicroelectronics Italy

Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.

2.340 Patente in unserer Datenbank

🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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