Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung von Aussenlufteindringung durch Leckagen in einem Plasmareaktor
EP1394835
Art A1
3. März 2004
Anmelder: STMicroelectronics S.r.l., STMicroelectronics Srl 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1394835
- Aktenzeichen
- EP02425536
- Anmeldetag
- 29. August 2002
- Veröffentlichung
- 3. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- STMicroelectronics S.r.l.
STMicroelectronics Srl - Land
- 🇮🇹 Italien
🇮🇹
STMicroelectronics Italy
Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bartle, Robin Jonathan
Liverpool, Großbritannien
449
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13
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Weitere Vertreter
-
Pezzoli, Ennio
Maccalli & Pezzoli S.r.l. · Milano