Kalt-Spray-Massenspektrometrieeinrichtung

EP1394836 Art B1 21. September 2011

Anmelder: Japan Science and Technology Corporation, Jeol Ltd., JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION, JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1394836
Aktenzeichen: EP02738622
Anmeldetag: 5. Juni 2002
Veröffentlichung: 21. September 2011
Erteilung: 21. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J49/16B05B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Corporation
Jeol Ltd.
JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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