Barriereschicht und Verfahren zur Unterdrückung von Diffusionsvorgängen bei der Herstellung von Halbleitereinrichtungen

EP1394843 Art A3 25. Februar 2009

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1394843
Aktenzeichen
EP03019397
Anmeldetag
27. August 2003
Veröffentlichung
25. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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