Lithographische Methode zur Erzeugung eines Elements
EP1395877
Art B1
9. März 2011
Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1395877
- Aktenzeichen
- EP02727930
- Anmeldetag
- 16. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 9. März 2011
- Erteilung
- 9. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/14G03F1/00H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Koninklijke Philips Electronics N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Vertreten von
Duijvestijn, Adrianus Johannes
Eindhoven, Niederlande
513
Patente gesamt
17
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Cobben, Louis Marie Hubert
NoneEindhoven